Title Semiconductor equipment and materials International
SEMI 란?
SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International): 세계 반도체 장비 재료 협회
세계 각국의 2,000 여개가 넘는 회원사를 보유하고 있으며 반도체 제조에 대한 기술 및 설비 전반에 대한 기술 기준을 지정하여 가이드하고 있는 협회입니다. 이중에서 반도체 장비에 대한 위험을 제거 또는 제어하기 위해서 EHS에 대한 S시리즈 가이드를 제공하며 있으며 이 S가이드는 전기, 기계, 화학, 전리, 비전리 방사선 등의 포괄적인 위험에 대한 구체적인 기술기준을 제시하고 있습니다.
SAMSUNG, SK하이닉스 및 인텔, 마이크론 등 유수의 반도체 기업들이 자사로 반입되는 설비에 대해서 SEMI 평가를 요구하고 있습니다.
관련 Standard
OSHA, ANSI, NFPA and CFR Standards, IEC, ISO
Machinery Directive
(2006/42/EC)
NFPA 79
EN60204-1
SEMI S2-0706
SEMI S8-1000
SEMI S23-0708
Conservation of Energy, Utilities and Materials Use
SEMI S1
시각 위험 정보를 위한 안전 지침
SEMI S2
반도체 생산 장비를 위한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S3
가열된 화학 액체 탱크를 위한 안전 지침
SEMI S6
통풍을 위한 안전 지침
SEMI S7
반도체 생산 장비의 환경, 건강 및 안전(EHS) 평가를 위한 안전 지침
SEMI S8
반도체 생산장비의 인간 공학적 측면의 안전 지침
SEMI S9
반도체 생산장비를 위한 전기적 시험 방법
SEMI S10
위험 평가를 위한 안전 지침
SEMI S12
장비 오염 제거를 위한 지침
SEMI S13
반도체 생산장비와 함께 사용하는 작동 및 관리 매뉴얼을 위한 안전지침
SEMI S14-0309
Fire Risk Assessment and Mitigation
SEMI F6
설비 인터페이스 사양 지침 및 포맷
SEMI F5
가스 상태의 방출물(effluent)취급을 위한 지침
SEMI F14
가스 공급 장치(gas source equipment) 인클로저의 설계를 위한 지침
SEMI F15
Sulfer Hexafluoride(SF6) 추적 가스 및 가스 크로마토그래피 (Gas Chromatography)를 사용한 인클로저 시험 방법